1、機臺采用進口勞士領板材,長期可工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏 。
2、全自動設計,可完全腐蝕透硅片,取代劃片機劃片造成邊沿毛刺和損傷。
3、酸液制冷循環,材料在工藝槽內旋轉擺動,腐蝕均勻。
4、酸槽到水槽到出料全自動機械手臂操作。
5、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI,所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件;
6、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側。
7、設備設計標準按半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質量管理體系進行規范和保證。
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